Der Smart WLI Next der Gesellschaft für Bild- und Signalverarbeitung (GBS) ist ein universell einsetzbarer 3D Sensor für Nanostrukturen und Mikrogeometrien.
Er verfügt über einen motorisierten Revolver für bis zu vier Objektive. Damit kann der kompakte Sensor, der mit Weißlichtinterferometrie arbeitet, in Messautomaten eingesetzt werden, die im Messprozess einen Objektivwechsel ohne manuellen Eingriff erfordern. Zeitgleich mit der Vorstellung des Smart WLI Next wurde die Scanning-Software verbessert, sodass die maximale Messgeschwindigkeit aller Sensoren dieser Baureihe genau wie das Auflösungsvermögen in xyz nochmals gesteigert werden konnte: Während selbst auf superpolierten Oberflächen wie dem Kristallspiegel kleinste Oberflächenstrukturen bewertet werden können, ist es ebenfalls möglich, große Areale trotz gesteigerter Auflösung vielfach schneller als bisher zu messen.
Dazu wird die Oberfläche in einem ersten Schritt mit einer Scan-Geschwindigkeit über 1 mm/s analysiert und der notwendige Messbereich für die hochauflösende Messung eingeschränkt. So können auch bei hoher Positionstoleranz und geneigten Oberflächen mit mehreren 100 μ Höhenunterschied Einzelmessungen in 1 bis 2 s durchgeführt und größere Areale mit mehreren 100 Einzelmessungen in wenigen Minuten erfasst werden.
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