Über die Option Metrology Extension lassen sich mit den Röntgenmikroskopen Xradia 620/520 Versa von Zeiss hochgenaue dimensionelle Messungen durchführen. Mit dem Metrology Extension (MTX) und einer einfachen Kalibrierung auf einen Maximum Permissible Error (MPE) Wert von (1,9 + L/100) μ eröffnet Zeiss neue Anwendungsfelder für Röntgenmikroskope in der industriellen Fertigung und Grundlagenforschung.
MTX wird nicht nur für neue Geräte, sondern auch als Upgrade-Option für Bestandsgeräte angeboten. Damit können nun auch Messungen in kleinen Volumina – zum Beispiel in einem Würfel von 5 mm pro Seite – mit hoher Maßgenauigkeit durchgeführt werden. Dazu hat Zeiss mit XRM Check einen neuen Längenmessstandard entwickelt, der den Richtlinien der VDI/VDE 2630–1.3 entspricht. Dank des integrierten, benutzergeführten Kalibrier-Workflows können Anwender ihre Xradia Versa Röntgenmikroskope auf eine Messgenauigkeit von MPE_SD = (1,9 + L/100) μ kalibrieren, wobei L die gemessene Dimension in Millimetern ist.
Die Stärken der Kombination aus hochauflösender Röntgenmikroskopie und hochpräziser Messtechnik zeigen sich bei der Beurteilung innerer und äußerer Strukturen, insbesondere bei Komponenten, die für herkömmliche taktile oder optische Koordinatenmessgeräte nicht zugänglich sind wie zum Beispiel innere Hohlräume, schwer zugängliche oder „versteckte“ Merkmale sowie flexible oder leicht verformbare Materialien.
Mit der Metrologie-Erweiterung können Anwender Maßabweichungen von den im Computer-Aided Design (CAD) definierten Nenngeometrien für Funktionsmerkmale in kleinen Bauteilen wie etwa spritzgegossenen Kunststoffverbindern oder Einspritzdüsen ermitteln. Selbst komplexe Teile, wie beispielsweise die Linsenbaugruppe einer Smartphone-Kamera, können nach verschiedenen Kriterien vermessen werden.
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