Oberflächen biologischer Proben müssen häufig charakterisiert werden um die gewonnenen Erkenntnisse für die Generierung künstlich erzeugter Oberflächen zu verwenden. Zum Beispiel ist die Selbstreinigung von Lotuspflanzen ein vieluntersuchtes „Phänomen“ der Mikrosystemtechnik. Untersuchungen zeigten, dass sich die konfokale 3D-Weisslichtmikroskopie für das qualitative und quantitative Erfassen der Mikrostrukturen auf solchen Oberflächen eignet. Das 3D-Messmikroskop µSurf von NanoFocus macht sich diese Konfokaltechnik zu Nutze um die dreidimensionale Struktur einer Oberfläche zu vermessen. Vorteile des konfokalen Messprinzips sind zum einen die hohe vertikale und laterale Auflösung, zum anderen können selbst Oberflächen mit steilen Flanken, komplizierten Strukturen oder transparenten Beschichtungen vermessen werden. Die Auflösung des 3D-Weißlicht-Konfokalmikroskopes µSurf geht bis in den Bereich von einigen zehn Nanometern. Es erfasst eine Topografie von ca. 2 mm² (10u Objektiv) mit über einer viertel Millionen Oberflächenmesspunkten in weniger als 30 Sekunden.
Neben dem Struktureffekt der Selbstreinigung werden zur Zeit auch andere Oberflächen untersucht. Hierzu zählen zum Beispiel refraktive Oberflächen wie Fresnel-Linsen, die für ultradünne Optiken verwendet werden.
A QE 412
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