Mit dem analySIS waferInspector und dem analySIS filter-Inspector stellt Soft Imaging System zwei neue Systemlösungen für die Anwendungsgebiete Inspektion von Waferrohlingen und Untersuchung von Rundfiltern vor. Beide Systeme ermöglichen vollautomatische Analyse, Klassifizierung und Dokumentation von Defekten auf Wafern bzw. Rückständen auf Filtern und anderen Substraten.
Im Rahmen einer Wafer- oder Filteranalyse sind große Flächen in möglichst kurzer Zeit zu analysieren. Der analySIS waferInspector und analySIS filterInspector wurden speziell konzipiert, um bei hoher Auflösung kurze Analysezeiten zu ermöglichen. So lassen sich zum Beispiel Rundfilter mit einem Durchmesser von 50 mm bei einer Auflösung von 0.8 µm innerhalb von 15 min vollständig charakterisieren. Diese Geschwindigkeiten werden durch den Einsatz von speziellen Kameras und speziellen Motortisch-Kontrollern erreicht.
QE 522
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