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Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich

3D-Piezo-Positioniersystem
Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich

Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich
Das 3D-Piezo-Positioniersystem Tritor 102 CAP besitzt eine zentrale Innendurchmesseröffnung von 40 mm. Dadurch eignet er sich zur Fixierung von Proben und deren Belichtung. Das System erreicht eine Auflösung im nm- und Sub-nm-Bereich, bei einem Stellweg von bis zu 100 μm im Open-Loop-Modus. Der Stellbereich beträgt bis 100/80μm (open/closed loop). Federparallelogramme ermöglichen spielfreie parallele Bewegungen in x-, y- und z-Richtung. Die Elemente lassen sich mit mechanischen oder elektromagnetischen Positionierungsantrieben kombinieren. Im Angebot sind verschiedene Ausführungen – etwa mit integriertem Messystem (DMS und kapazitiv) sowie Ausführungen für Vakuumanwendungen. Trotz des großen Stellbereichs ist das Positioniersystem sehr kompakt und für ein breites Anwendungsgebiet dynamischer Anwendungen geeignet.

Piezosystem Jena, Jena www.piezojena.com
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