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Automatische Waferinspektion mit der MX100IR

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Automatische Waferinspektion mit der MX100IR

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Seit September hat Viscom seine Produktpalette um Inspektionslösungen für die Halbleiterinspektion erweitert und bietet damit die in der SMT-Fertigung bekannte Prüfqualität jetzt auch im Halbleiterbereich an. Das Desktopsystem MX100IR eignet sich besonders für die flexible und zuverlässige Inspektion kleiner Losgrößen. Es ist die ideale Lösung für die Prüfung von Bare-Wafern, Chips, MEMS, Wafer-Bonds, SOI und FlipChips. Es kann auch für Anwendungen im Photovoltaik-Bereich eingesetzt werden. Die Wafer können dabei aus verschiedenen Materialien wie Silizium, Galliumarsenid oder III-V-Verbindungshalbleitern bestehen. Die Be- und Entladung der zu inspizierenden Wafer erfolgt manuell, so dass dieses System vor allem für die Inspektion kleiner Losgrößen geeignet ist. Das Herzstück der patentierten Si-ThruTM-Technologie sind die Infrarot-Lichtquellen. Diese erzeugen ein hoch effizientes Licht im Nahinfrarotbereich. In diesem Wellenlängenbereich ist Silizium in nahezu jeder Dotierung transparent, so dass Inspektionen auch innenliegender Fehler sehr einfach möglich sind.

Viscom AG, Hannover
QE 516
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