Für Verfahren zur Oberflächen- Beschichtung ist es wichtig, Betrag und Konstanz der abgeschiedenen Schichtdicke zu überwachen. Für transparente Mehrschichtsysteme, beispielsweise Kunststoffolien, Lacke, Glas oder Verbundwerkstoffe, eignet sich das Weißlicht-lnterferometer von IPM. Das Gerät erkennt die Position von Grenzflächen zwischen Schichten unterschiedlicher Brechzahl, die das eingestrahlte, breitbandige Licht einer Wellenlänge von 700 bis 1100 Nanometern reflektieren und einen meßbaren Gangunterschied erzeugen. In zehn Millisekunden lassen sich bei minimalen Brechzahlsprüngen von 0.01 Schichten bis hinunter zu einem Mikrometer Dicke auflösen; die Größe des Meßpunkts beträgt dabei weniger als 0,2 Millimeter.
A QE 504
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