Um die Qualität der Produktion von Dünnschicht-Solarzellen zu beurteilen, müssen die Hersteller genau und zuverlässig die aufgebrachten Schichten messen und analysieren können. Dazu steht ihnen jetzt das Röntgenfluoreszenz-Spektrometer FISCHERSCOPE X-RAY XDV SD zur Verfügung. Dieses Röntgenfluoreszenz-Spektrometer ist speziell auf Elektronikbauteilen ausgelegt. Der Halbleiter-Detektor besitzt eine hohe Energieauflösung von 200 eV (FWHM). Das ermöglicht ihm, die Spektren von Elementen getrennt darzustellen, die im Periodensystem benachbart liegen. Bei Messreihen ergaben sich Standard-Messunsicherheiten kleiner 0,1 Prozent bei der Schichtdicke und bei der Analyse der polykristallinen Halbleiter-Dünnschichten.
Helmut Fischer, Sindelfingen
QE 546
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