Seit mehr als 30 Jahren werden von Zygo Interferometer zur Formprüfung polierter Oberflächen entwickelt und hergestellt. Noch heute sind weltweit in vielen Produktionsstätten die ersten Interferometer der Serien PTI und Mark im Einsatz. Zusammen mit den aktuellen GPI und VeriFire Geräten dürften inzwischen mehr als 2000 Interferometer von Zygo für Qualitätssicherung sorgen, vor allem in der Optikfertigung aber inzwischen auch bei Anwendungen in der Halbleiterherstellung und im Automobil – Zulieferbereich.
Alle diese Interferometer haben Messaperturen von 100mm bzw. 150mm. Beam-Expander weiten den Messstrahl auf 12″, 18″, 24″ oder gar 32″ auf und Apertur-Konverter können das Messfeld auf 25mm reduzieren. Dies macht die Systeme für einen großen Bereich von Optiken universell einsetzbar. Wenn ein Anwender jedoch ausschließlich kleine Optiken bis 25mm Durchmesser prüfen möchte, ist ein spezialisiertes, kleines und kostengünstiges System für die Werkbank ideal. Genau für diese Anwendungen wurde das PTI 250 konzipiert. Wie alle Zygo-Interferometer basiert es auf dem Fizeau-Aufbau, das heißt, die Referenzfläche ist gleichzeitig Begrenzungsfläche der Messkavität. Dies hat für den Anwender eine Reihe von Vorteilen. So ist z.B. keine Kalibrierung erforderlich, nach dem Einschalten steht sofort das Life-Interferogramm zur Verfügung und Fehlerquellen außerhalb der Messkavität werden auf ein Minimum reduziert.
Das PTI 250 kommt als Serie von vier Grundgeräten auf den Markt. Das Einstiegsmodell ist ein rein visuelles Interferometer zur Streifenbetrachtung ohne Phasenanalyse. Alle anderen Modelle werden mit Computersystem zur Streifen- bzw. Phasenauswertung angeboten.
Beim PTI 250 wird auch die neue FlashPhase Software von Zygo eingesetzt. Diese erlaubt auch unter schwierigen Umgebungsbedingungen mit starken Vibrationen und Luftturbulenzen die Phasenauswertung ohne Schwingungsisolation.
QE 521
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