Für die hochpräzise Vermessung der Radien von sphärischen Optiken bietet ZygoLOT einen neu entwickelten Messaufbau an. Herausragendes Merkmal ist die direkte Messung auf der optischen Achse. Diese Anordnung vermeidet Abbé-Fehler und erreicht so eine Messunsicherheit im µm Bereich. Ermöglicht wird dies durch den Einsatz eines Zygo ZMI Längenmessinterferometers zur Ermittlung der Distanz zwischen Fokuspunkt und konfokaler Position. Die Messauflösung beträgt 10nm.
Der Interferometrische Radienmessplatz wird als Aufrüst-Bausatz angeboten und arbeitet mit allen Zygo-Fizeauinterferometern zur Formprüfung von optischen Oberflächen zusammen. Das Kit besteht aus einem Laserkopf, der Interferometer- optik, den erforderlichen Justierhaltern, einer PC-Karte zur Kommunikation und Auswertung sowie einer Führungsschiene.
Die Signalübertragung vom Interferometer zum Messboard erfolgt störungsfrei mittels optischer Glasfaserkabel. Durch Integration in die Mess- und Auswertesoftware MetroPro werden die Ergebnisse der Oberflächenmessung mit in die Radiuskalkulation einbezogen.
Diese Kombination aus interferometrischer Oberflächenmessung und interferometrischer Längenmessung sichert höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit.
QE 521
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