Das neu entwickelte Laser-Interferometer ILM 1131 wurde speziell für hochgenaue Positionieraufgaben, Anwendungen in der Labormesstechnik sowie für Forschung und Entwicklung konzipiert. Es löst Messschritte von weniger als einem Nanometer bei einer Messlänge von 10 Metern auf.
Die hohe Genauigkeit des ILM 1131 wird durch spezielle konstruktive Maßnahmen erreicht. Das verwendete Einfrequenz- bzw. Homodyn-Verfahren ermöglicht aufgrund der hohen Signalqualität besonders geringe Positionsabweichung innerhalb einer Signalperiode. Da der He-Ne-Laser im Anzeigegerät untergebracht ist, entwickelt der Messkopf nahezu keine Verlustwärme und kann sehr klein gehalten werden. Die Glasfaserverbindung zwischen Laser und Messkopf ermöglicht zudem ein unabhängiges Aufstellen des Anzeigegerätes. Die Umweltparameter Druck, Temperatur und Feuchte wirken sich auf die Messgenauigkeit aus. Diese Auswirkungen werden durch die Verwendung von hochgenauen Sensoren kompensiert. Ebenso wird die Temperatur der Montagefläche bzw. eines Prüflings mittels Materialtemperatursensoren erfasst und automatisch kompensiert. Die Sensoren sind, wie der Laser selbst, einzeln kalibriert und auf nationale Standards rückführbar. Die Kalibrierdaten sind in den Sensoren bzw. im Laser netzausfallsicher gespeichert und werden automatisch in das Anzeigegerät eingelesen.
A QE 617
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