Mechanische Profilometer der Surfascan Serie von Atos ermöglichen eine genaue taktile Vermessung von feinen 3D-Strukturen. Es können 3D-Topografien bis 100 x 100 mm2 gemessen werden. Eine Reihe von Tastern mit vertikalem Messbereich von 1,5 mm bis 50 mm wird angeboten Für den Vorschub senkrecht zur Messrichtung (Y-Richtung) wird eine qualitativ identische Mechanik wie für die Profilmesseinheit (X-Richtung) verwendet. Das Werkstück wird dabei über eine Referenzfläche gezogen. Die benötigte Geradheit und Ebenheit, um eine Messauflösung im Sub-Mikrometerbereich zu erhalten, ist gewährleistet. Die reproduzierbare Berechnung von 3D-Parametern wird so erst möglich. Zusätzlich gibt es jetzt eine Y-Vorschubeinheit, die hängend an der Profilvorschubeinheit angebracht ist. Dabei wird nur der Sensor in allen drei Achsen verfahren. Das Werkstück bleibt während der Messung unbewegt. Diese Konfiguration kommt immer zum Einsatz, wenn es sich um komplexe und sehr schwere Werkstücke handelt. Bereiche, die nur schwer zugänglich sind, können vermessen werden, so z.B. zylindrische Rohre im Querprofil. Mit einer Tastnadel war dies bisher nur möglich, indem das Rohr zerschnitten wurde.
A QE 453
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