Mit dem Multi Angle Spectroscopic Ellipsometer MASE erhält die M-2000-Familie von LOT Oriel ein neues Mitglied.
Mehrere Einfallswinkel liefern mehr Messinformation. Abhängig davon wie das Licht durch die Schichtstruktur läuft, lässt sich die Empfindlichkeit erhöhen. Dies hilft, mehrere unbekannte Parameter einer komplizierten Schichtstruktur gleichzeitig zu ermitteln.
Die neueste Innovation vereinfacht spektroskopische Mehrwinkelmessungen. Strahlführende Optiken leiten den Messstrahl unter drei unterschiedlichen Winkeln auf die Probe, die Ellipsometer-Arme bleiben während der Messungen fest, im Unterschied zu konventionellen Mehrwinkelmessungen. Dadurch ergibt sich ein kompaktes Design, das die schnelle, automatisierte Änderung des Einfallswinkels erlaubt.
In Verbindung mit der automatisierten Höhenjustage bietet das MASE die optimale Lösung für schnelle Routinemessaufgaben. Probenmappen und Messungen bei mehreren Einfallswinkeln können einfach und schnell kombiniert werden.
Zusätzlich kann eine Fokussieroption zur Erhöhung der Ortsauflösung fest integriert werden. Ohne zusätzliche Justage lässt sich die Probe auf Knopfdruck mit dem fokussierten Spot oder mit normalem Lichtstrahl untersuchen.
QE 550
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