Das Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT forscht schon seit Beginn der Achtziger Jahre auf dem Gebiet der Lasermesstechnik, führt Machbarkeitsstudien sowie unabhängige Marktrecherchen durch und entwickelt kundenspezifische Mess-systeme. Die Themenschwerpunkte sind dabei Ultrapräzisionsprüfungen von Optiken, Messungen von Mikrostrukturen und -bauteilen, die Erfasssung von Freiformflächen sowie Miniaturisierungen von Messsystemen und biomedizinische Diagnostik. So stellte das Institut vor kurzem einen miniaturisierten Abstandssensor mit einem Durchmesser von ca. 500 µm vor. Ein Anwendungsgebiet ist die Überwachung von Mikromontageprozessen. Ein weiterer Schwerpunkt ist die In-Prozess-Messtechnik. Dabei wird die Fertigungsqualität nicht mehr fernab in einer Laborumgebung beurteilt sondern die Messwerte werden direkt in der Werkzeugmaschine erfasst. So entsteht z. Zt. ein Messsystem zur Prozess-überwachung in der Ultrapräzisionsbearbeitung. Dabei werden Formfehler an nicht kooperativen Oberflächen (d.h. optisch glatten Oberflächen mit steilen Flankenwinkeln) mit einem modular aufgebauten Interferometer nanometergenau bestimmt, die mit herkömmlichen Verfahren nicht mehr messbar sind. Gleichzeitig kann die Rauheit über eine Streulichtauswertung ebenfalls sekundenschnell gemessen werden.
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