Die IMT Masken und Teilungen AG hat per Ende Januar 2007 eine Trockenätzanlage in Betrieb genommen. Mit der Einführung der Trockenätztechnologie ist die IMT einmal mehr Vorreiter unter den Anbietern von kundenspezifischen Mikrostrukturen. Mit der neuen Technologie (Deep-UV Belichtung und Trocken- oder Plasma-Ätzanlage) können Strukturen erzeugt werden, die kleiner sind als die Wellenlänge des Lichts. Die Installation umfasst eine Trockenätzanlage der Firma Oxford Labs mit der erforderlichen Infrastruktur. Die Investition beträgt etwa 600.000 Euro. Unter den Anwendungen für diesen Mikrostrukturen sind u.a. diffraktive Gitter und hochauflösende optischen Kalibrierplatten. Mit dem Trockenätzprozess können Mikrostrukturen bis etwa ¼ µm erzeugt werden. Nasschemisch hingegen liegt die Grenze bei etwa 1.5 bis 2 µm.
IMT Masken und Teilungen, Greifensee CH
Halle 6, Stand 6111
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