Das SPM 9001 wurde für die Überwachung von Prozessen entwickelt, bei denen sich optische Parameter ändern. Ausgestattet mit einem Silizium Photodiodenarray erlaubt es die Aufnahme von optischen Spektren im Wellenlängenbereich von 300 bis 1000 nm. Das Licht wird über eine Glasfaser zum Gerät geführt, dadurch ist das SPM 9001 für unterschiedlichste Anwendungen einsetzbar. Die Fähigkeit zur Prozeßüberwachung wird durch einen TTL-Ein/Ausgang erreicht, der ereignisbedingt angesprochen werden kann. Unterschiedlichste Anwendungsbereiche finden sich z. B. in der Halbleiter- oder auch in der chemischen Industrie. Ebenso kann die Dicke von transparenten Schichten mit dem SPM 9001 kontrolliert und überwacht werden.
A QE 425
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