Die auf einem Filter oder selbstklebendem Probenträger gesammelten Partikel kommen ohne weitere Vorbehandlung in die Probenkammer des Systems. Die Bedienung ist einfach: Wie bei einem Lichtmikroskop wird fokussiert, die Helligkeit eingestellt und gestartet. Während der Analyse sind die aktuellen Ergebnisse zu beobachten, nach einigen Minuten ist ein Trend erkennbar. Werden solche Partikelanalysen an einigen Hundert oder Tausend Partikeln vorgenommen, so ist eine aussagekräftige Statistik erkennbar und damit eine sichere Eingrenzung der „Quelle“ der Verschmutzung möglich. Vergleiche über verschiedene Zeiträume, Produktionslose und Fertigungslinien sind gegeben. Mit der Archivierung der Daten ist ein kontinuierlicher Monitor der Qualität denkbar. Treffende Aussagen über Art und Anzahl der vorhandenen Verschmutzung oder den Zustand eines Prozesses sind meist sofort möglich.
A QE 421
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