Kernstücke des ADP1-Drucksensors sind piezoelektrische Widerstände (Dehnungsmessstreifen). Diese werden auf eine Siliziummembrane durch Ionenimplantation erzeugt.
Für hohe Messgenauigkeit werden für die Messung vier Piezowiderstände zu einer Wheatstone-Messbrücke (Brückenwiderstand 5 kV!) verschaltet. Die Position der Widerstände wird dabei so gewählt, dass eine Durchbiegung der Membran bei zwei sich jeweils gegenüberliegenden Widerständen zu positiver beziehungsweise negativer Widerstandsänderung führt. Wird die Messbrücke mit einem Konstantstrom (typ. 1,5 mA) betrieben, entsteht eine Brückenausgleichsspannung proportional dem zu messenden Druck mit einem maximalen Hub von 100 mV. Dieser Drucksensor erlaubt je nach Ausführung Druckmessungen von 4,9 bis 980 kPa. Der Linearitätsfehler beträgt dabei nur 0,3 bis 0,6 Prozent vom Endwert. Der Sensor kann bei Temperaturen von -20 bis +100 °C betrieben werden.
A QE 420
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