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Profilometer

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Veecos optischer Profilometer Wyko NT-1100 mit geringem Platzbedarf wurde für die Anforderungen des europäischen Marktes entwickelt. Es nutzt die Weißlichtinterferometer-Technik hoher Spezifikation, die auch an den anderen Industriegeräten der WYKONT-Serie eingesetzt wird, und erlaubt es in einem automatisierten Programm mehrere Aufnahmen zu einer größeren Messfläche zusammenzusetzen. Die Anwendungen reichen in der Forschung und Entwicklung von MEMS, dicken Filmen, Keramiken über neue Materialien, Präzisionsoberflächen, Optiken bis hin zur Prozesssteuerung und Fehleranalyse.

Das System ist vergleichsweise kostengünstig und bietet gleichbleibende Messgeschwindigkeit, Reproduzierbarkeit und Genauigkeit in allen Vergrößerungen an, ohne Kompromisse in der vertikalen Auflösung eingehen zu müssen.
Halle 4, Stand 4204 A QE 511
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