Leichter und sehr viel schneller als mit Einzel-PSD ist die Erfassung von Oberflächen mit PSDArrays von SiTek möglich. Hierbei wird eine ganze Linie in einem einzigen Meßvorgang erfaßt, so daß anstelle eines Scanners nur eine Linienoptik erforderlich ist. Die kundenspezifischen PSD-Arrays bestehen aus zahlreichen einzelnen Detektoren, die zu einer Zeile aneinandergereiht werden. Bei Anstiegszeiten von typ. 200 ns stehen die Meßergebnisse äußerst schnell zur Verfügung. Dabei arbeiten die PSDs hochgenau: Die Abweichung von der Positionslinearität beträgt höchstens 0,2%.
– QE 504
Teilen:
