Für die hochpräzise berührungslose Längen- und Winkelmessung bietet die SIOS Messtechnik GmbH Doppel-Miniaturinterferometer der Serie SP-D mit Planspiegelreflektor mit einer Winkelauflösung bis 0,050 und einer Längenauflösung bis 0,1 nm an. Durch zwei parallele Messstrahlen können simultan zwei Längenwerte und der dazugehörige Winkelwert sehr präzise erfasst werden. Aus der Differenz der beiden Längenwerte und dem Strahlabstand wird der Winkel hochgenau bestimmt. Als Messreflektoren dienen Planspiegel oder beliebige Oberflächen mit optischer Qualität. Der zulässige Winkelbereich beträgt dabei etwa zwei Minuten und ist vom Abstand der Strahlen unabhängig. Bei kleinen Längenänderungen erhöht eine Fokussierung der Messstrahlen auf das Messobjekt den Winkelbereich bis auf ± 30 Minuten. Die Einsatzgebiete der Doppel-Miniaturinterferometer sind vielfältig und reichen von laserinterferometrischen Messungen an Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen , Mess- und Werkzeugmaschinen über Durchbiegungs- und Materialuntersuchungen bis zu Messungen im Vakuum und der Kalibrierung von Winkelmessgeräten.
A QE 429
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