Mit der neuen Pifoc P-722/P-723 Reihe von Objektiv-Feinstellern erweitert der Mikropositionier-Spezialist seine Palette schneller, kompakter Piezoantriebe mit Sub-µm-Auflösung. In einem Stellbereich bis 400 µm wird eine Auflösung von 1 nm (open loop) erreicht Anwendungen liegen in interferometrischen Ebenheits-Messsystemen, konfokaler Mikroskopie, Zellbiologie und der Halbleitertechnik. Die Pifocs werden einfach wie ein Distanzstück zwischen Mikroskoprevolver und Objektiv geschraubt. Die Pifoc Versteller basieren auf einem piezoelektrischen Antrieb, integriert in eine Mechanik mit spielfreien Festkörpergelenken. Dabei wirkt die Kraft des piezokeramischen Translators auf ein drahterodiertes Hebelsystem. Die per FEM berechneten Hebel sind reibungs- und spielfrei und sorgen für eine hervorragende Geradführung. Zur Linearisierung der Piezos werden Wegsensoren eingesetzt, die im geschlossenen Regelkreis Reproduzierbarkeiten von 50 nm ermöglichen.
A QE 426
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