Die neue Messröhren-Generation mit Keramikmembran arbeitet kapazitiv, also gasunabhängig und zeigt sich weit weniger empfindlich auf Temperatureinwirkungen. Darüber hinaus ist Keramik extrem korrosionsbeständig.
Hoch korrosive Gase sind in der Halbleiterindustrie normal. Trotzdem muss zur konstanten Sicherung eines schwankungsfreien Prozessverlaufs der Vakuumdruck zu jeder Zeit genau messbar bleiben. Zum Problem wurde dabei oft das Metall in der Messmembran. Die Korrosionsgefahr durch aggressive Gase war für heutige Maßstäbe zu hoch. Außerdem kämpfte man zu oft mit der für Metall typischen Reaktion auf Wärme. Starke Nullpunktverschiebungen erforderten bislang zu häufiges Nachkalibrieren, was wertvolle Zeit raubte. Die Lösung liegt in der Verwendung von Keramik anstelle von Metall. Anwender der neuen CCR-Messröhren sparen Kosten durch den relativ niedrigen Anschaffungspreis, den reduzierten Kalibrierungsaufwand und die konstant hohe Messstabilität, die den Produktionsprozess kontinuierlich absichert. Über eine integrierte Schnittstelle ist CCR auch kompatibel zu den Steuergeräten der Marke MKS. Das ermöglicht den weltweit problemlosen Einsatz an praktisch jeder Halbleiterproduktionsanlage.
A QE 621
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