Die Abmessungen dieser Miniatursensoren für berührungslose Messungen sind so gering, daß sie nur unter der Lupe oder dem Mikroskop gefertigt werden können. Das integrierte Sensor- Koaxialkabel mit einem Durchmesser von nur 0,5 mm paßt selbst durch ein Nadelöhr. Kleinste Wege mit Genauigkeiten im Sub-Mikrometerbereich und Auflösungen von wenigen Nanometern lassen sich damit erzielen.
Ein Beispiel dafür ist der berührungslose Wirbelstrom- Wegsensor U05.X mit einem Gehäusedurchmesser von 3 mm und einer Länge von 4 mm, einem Meßbereich von 500 µm bei einer Linearität von 1µm. Die Grenzfrequenz beträgt 100 kHz (-3dB).
Typische Anwendungsbeispiele finden die Minisensoren speziell in der Automobilindustrie, z. B. bei der Messung von Düsennadelhub, Kolbensekundärbewegung, Ventilbewegung, Wellenbahn und Verlagerung im Kurbelwellen- oder Pleuellager, axiale oder radiale Bewegung der Kolbenringe und Lagerschwingungen.
A QE 420
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