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Algorithmus macht Schwingungsisolation überflüssig

Fizeau-Interferometer
Algorithmus macht Schwingungsisolation überflüssig

Algorithmus macht Schwingungsisolation überflüssig
Mit dem Fizeau-Interferometer-Modell Zygo Mini XP hat Zygolot die Messmöglichkeiten beträchtlich erweitert: Alle Mini-Interferometer nutzen einen Phasenschiebe-Algorithmus, der eine zusätzliche Schwingungsisolation überflüssig macht. Damit sind die Interferometer mit einer Messapertur von 60 mm für den Einsatz im Fertigungsumfeld geeignet.

Der Einsatzbereich schließt Endkontrolle und Dokumentation mit ein. Zu den Hauptmerkmalen gehören eine Auswertung nach ISO 10110-5, die Messung des Oberflächenradius gegen die Soll-Linse, ein optionaler Encoder zur direkten Messung des Oberflächenradius sowie ein 3D-Datensatz im Metropro-Datenformat. Das berührungslose Auslösen des Vorgangs ist ebenso möglich wie das Setup und die Bedienung über Touchscreen. Mit einer vertikalen Auflösung im Subnanometer-Bereich erhält man auch beim Objektivwechsel stets die gleiche Höhenauflösung.
Zygolot Halle 1, Stand 1224

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