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Auf Nanometer

3D Mikro-Topographien und Oberflächenrauheiten
Auf Nanometer

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Mit dem Komplettsystem ‚i-Dex f’ können Innenräume von Freiform Objekten 3-dimensional erfasst werden. Das Objekt (von außen) wird dazu in eine Vorrichtung eingeklemmt. Die Messungen erfolgen mit dem Sensorkopf RayDex cr mit externer Aktorik. Messparameter sind u.a. Durchmesser, Rundheit, Ovalität, Konizität und Koaxialität. Ebenso lassen sich technische Rauheitswerte bis zu einer minimalen Rauheit Rz = 0.5 µm ermitteln. Durch einen mechanischen 2D-Verfahrtisch von 200 x 200 mm können mehrere Objekte auf einer Palettiereinheit zielgerichtet angesteuert und vermessen werden. Ebenso erlaubt der Verfahrtisch die Kalibrierung des Sensors mit Messnadel durch Vermessung eines Kalibrierkörpers am Rande des Objekt-Messfeldes. Technische Rauheitswerte können bis zu einer minimalen Rauheit Rz = 0.5 µm ermittelt werden.

Mit dem Komplettsystem ‚i-Dex a’ können 3D Mikrostrukturen und nm Rauheiten erfasst werden. Die 3D Strukturen können dabei über 100 µm hoch sein und in zwei Dimensionen Ausmaße von etwa 0.4 mm2 haben. Durch ‚Stitching’ lassen sich noch größere, zusammenhängende Flächen vermessen. Die maximale laterale Ausdehnung eines Objektes liegt bei 300 mm.
ISIS sentronics, Mannheim www.isis-sentronics.de
Halle 3 Stand 3310

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