Die Kombination von konfokaler und Fokusvariationsmessung von Confovis ermöglicht eine Erfassung sowohl hinsichtlich Mikrogeometrie, Rauheit und Isotropie, als auch rückführbar auf die gängigen Tastschnittnormen DIN EN ISO 4287 und 13565. So lassen sich auch schwierig zu messende Oberflächenkombinationen artefaktfrei messen, etwa die Kontaktierungen eines USB-Sticks. Auch können harte Schichten, wie DLC und amorpher Kohlenstoff, in jedem Prozessschritt erfasst werden.
Durch den modularen Aufbau ist eine Anpassung an entsprechenden Industrien möglich. Mit dem Messsystem Leadinspect können in einem Messablauf Makrodrall und Mikrodrall gemessen werden. Das Messsystem Toolinspect erfasst hingegen funktionstragende Oberflächen, die mit konfokaler Messtechnik bis in den einstelligen Nanometerbereich rückführbar auf die Normen DIN EN ISO 4287/4288, DIN EN ISO 13565 und DIN EN ISO 25178 sind. Mittels Fokusvariation können zudem Geometrien mit steilen Flanken gemessen werden.
Da die Confovis-Messeinheit keine beweglichen Teile enthält, ist eine Integration in andere Geräte zur dimensionalen Vermessung möglich. So können Größe, Rauheit und Welligkeit an der gleichen Station vermessen werden.
Confovis, Halle 7, Stand 7219
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