Mit dem Profilmessgerät FL-800 beschreitet Kunz Precision einen neuen Weg zum hochgenauen Messen von Geradheiten. Die Neuentwicklung ist in den Qualitätssicherungsprozess der Wafer-Fertigung eingebettet. Kernelement ist der Vakuum-luftgelagerte Messschlitten. Dieses Prinzip gewährleistet Luftlagerstabilitäten von wenigen Nanometern. Eine raffinierte Führungsauslegung und der entkoppelte motorisierte Antrieb ermöglichen die hohen Genauigkeiten. Die Messungen steuert die eigens dazu entwickelte Software T-Soft-FL. Die Auswertungen folgen automatisch.
Kunz Precision Halle 1, Stand 1050
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