Koordinatenmessmaschine mit Mikrotaster

Mit der „Altera Nano WP“ präsentiert Mycrona eine Koordinatenmessmaschine der Referenzklasse. Die auf einer großzügigen Granitbasis aufbauende Konstruktion dieser Messmaschine ist auf maximale Positioniergenauigkeit und Messsicherheit ausgelegt. Alle Messachsen der Maschine sind vollständig luftgelagert. Das exklusive Dual-Z-Design mit einer Geradheitsgenauigkeit von nahezu 100 nm teilt die Messsensoren auf zwei unabhängig voneinander verfahrbare Vertikalachsen auf. Neben einem optischen und einem taktilen Sensor verfügt die Messmaschine über den White-Point-Mikrotaster (WPM), der nach dem von der Robert Bosch GmbH patentierten Konzept eines Weißlicht-Heterodyn-Doppel-Lambda-Interferometers arbeitet. Der berührungslos scannende WPM ermöglicht die schnelle optische Abtastung mikrosystemtechnischer Komponenten mit hoher Punktedichte (Abtastraten bis zu 10 kHz) und damit verbunden die flächenhafte Darstellung und Auswertung des Messobjektes. Die 35 µm kleine Tastspitze des WPM ist an eine hochpräzise luftgelagerte Dreheinheit adaptiert.

Mit ihrer Hilfe wird der Drehwinkel des optischen Ausgangs der Tastspitze automatisch im Scanvorgang korrigiert. Eine mögliche Anwendung des WPM ist die berührungslose Messung von Form, Durchmesser, Winkel und Lage von Kleinstbohrungen.

Mycrona Gesellschaft für

innovative Messtechnik,

Saarwellingen

Halle 7, Stand 7320