Ziel ist es, mehr Inline-Inspektionen zu einem früheren Zeitpunkt im Prozess zu fördern. Dank der Kombination dieses Analyseansatzes mit der Mikrofokus-Röntgenquelle, der Rotating-Target- und Half-Turn-CT-Technologie bietet Nikon eine Komplettlösung.
Das Problem bei der herkömmlichen 2D-Röntgeninspektion ist, dass sie zwar schnell ist, aber keine ausreichend präzisen oder wiederholbaren Ergebnisse liefert, da es äußerst schwierig ist, einzelne Schichten mit einem einzigen Kegelstrahl-Röntgenbild zu unterscheiden, insbesondere wenn die Platten nicht vollkommen flach sind. Die Automatisierung der Überhanganalyse durch die 3D-Röntgen-CT beseitigt diese Probleme. Die LiB.Overhang-Analyse ist schnell genug, um mit der Geschwindigkeit von Fertigungslinien Schritt zu halten, da diese weniger empfindlich auf Rauschen in 3D-Bildern reagiert, die durch Hochgeschwindigkeitsscannen aufgenommen wurden.
Dies liegt daran, dass das KI-Modell in der Lage ist, frühere Informationen zu nutzen, um Merkmale eines Anodenüberhangs und Fehler in den Zellen zu erkennen und zu klassifizieren, unabhängig vom Vorhandensein typischer Rausch- und Scan-Artefakte. Solche Scandaten könnten zu einem Verwirren herkömmlicher Analysemethoden und somit zu falschen Ergebnissen führen, wenn man versucht, die Anoden- und Kathodenschichten automatisch zu segmentieren. Um ein qualitativ hochwertigeres Bild zu erzeugen, müsste viel langsamer gescannt werden, was die Produktivität der Qualitätskontrolle beeinträchtigt.
Nikon, Halle 5, Stand 5501
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