Bei den Lecksuchern von Advanced Test Concepts, einer Tochtergesellschaft von Pfeiffer Vacuum, kommt die Micro-Flow-Technologie zum Einsatz. Dabei wird mit Luft anstelle von speziellen Prüfgasen auf Dichtheit geprüft. Mit dem Verfahren, das aus einem integrierten Mikrosensor auf Basis des beschleunigten Massenflusses besteht, kann eine Empfindlichkeit von bis zu 5 x 10-4 mbar l/s erreicht werden. Anwendung findet das Verfahren in der Automobilindustrie, etwa in der Prüfung von Antriebssträngen und Getriebegehäusen.
Eine besondere Nutzungsform des Micro-Flow-Sensors ist die Mass-Extraction-Technologie, die nach dem Prinzip des verdünnten Gasflusses arbeitet. Um eine höhere Empfindlichkeit zu erreichen, wird dabei unter Vakuum geprüft. Dieses Prüfverfahren eignet sich besonders für Verpackungen oder verschlossene Objekte wie pharmazeutische Verpackungen, die auf Wasserdichtigkeit geprüft werden müssen.
Pfeiffer Vacuum, Halle 4, Stand 4515
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