Das hochauflösende Rasterelektronenmikroskop JEOL Compact-REM JSM-6610 kann direkt zur Qualitätssicherung an der Produktionslinie eingesetzt werden. Das REM ermöglicht eine Auflösung von bis zu 3 nm und ist neben dem bewährten Sekundärelektronendetektor mit einem Rückstreuelektronendetektor ausgestattet, der eine plastische Darstellung der Probe gewährleistet.
Die hohe Leistung bei sehr geringen Spannungen – 12 nm Auflösung bei 1 kV – ermöglicht die Darstellung von Oberflächenkontamination und Verschmutzungen in bisher nicht gekannter Detailtreue. Ebenso können sehr empfindliche Proben wie Polymere und organische Verbindungen zerstörungsfrei untersucht werden. Der optionale Niedervakuummodus erlaubt die direkte Untersuchung isolierender Proben: Innerhalb weniger Minuten können auch unerfahrene Nutzer von einem Prüfteil ein hochauflösendes REM-Bild, eine Elementanalyse oder eine 3D-Rekonstruktion anfertigen.
Das JEOL JSM-6610 ist ein Werkzeug zur Messung immer kleiner werdender Toleranzen.
JEOL, Eching
Halle 1, Stand 1002
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