Erstmals präsentiert SIOS Meßtechnik ein fasergekoppeltes laserinterferometrisches Vibrometer, integriert in ein technisches Mikroskop. Es eignet sich hervorragend zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen wie zum Beispiel MEMS und Cantilevern.
Das Messobjekt ist in einem großen Bereich von 50 x 50 mm oder 100 x 50 mm mit Hilfe eines x-y- Tisches positionier- und scanbar und kann durch eine USB-Kamera beobachtet werden. Das Mikroskop-Objektiv ist auswechselbar; 10- und 50-fache Vergrößerung ist möglich. Bei Verwendung des 50x-Objektivs beträgt der Laserspotdurchmesser <2 µm. Die erreichbare Auflösung des laserinterferometrischen Vibrometers liegt mit 0,1 nm im Subnanometerbereich, wobei Schwingungsfrequenzen bis 2 MHz analysiert werden können.
Zur Erfassung und Darstellung der Messdaten wird eine spezielle Software verwendet. Diese ermöglicht neben der Frequenzanalyse der Schwingung und der getriggerten Messwertaufnahme eine scriptgesteuerte Abtastung von Oberflächenstrukturen.
Typische Anwendungsgebiete sind die Messung von Schwingungsamplituden und die Bestimmung von Resonanzfrequenzen und Schwingungsmoden der Mikroobjekte.
SIOS Meßtechnik, Ilmenau
Halle 1, Stand 1111
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