Werth hat seine Koordinatenmessgerät mit CT der Baureihe Tomoscope XS Plus mit einer wartungsarmen Submikrofokusröhre im Monoblock-Design ausgestattet. Die neuen Röhren mit bis zu 160 kV Spannung erlauben eine hohe Verfügbarkeit und erheblich geringere Wartungskosten im Vergleich zu konventionellen Submikrofokusröhren mit separatem Generator.
Im Submikrofokus-Modus erlaubt die Röntgenröhre die Messung weniger Mikrometer großer Strukturen mit sehr hoher Volumen-Strukturauflösung. Die maximale Strukturauflösung im 2D-Durchstrahlungsbild beträgt etwa 0,8 µm. Entscheidend für die Strukturauflösung im 3D-Volumen ist jedoch außerdem die richtige Abstimmung mit den anderen Gerätekomponenten wie Drehachse und Detektor. Auch die Temperatur hat bei Auflösungen im Grenzbereich großen Einfluss. Deshalb ist eine aktive Temperaturregelung auf 20 °C ± 1 K im Geräteinnenraum im Einsatz. Zusätzlich erfolgt eine automatische Korrektur von temperaturbedingter Drift. Durch all diese Maßnahmen lässt sich eine 3D-Volumen-Strukturauflösung von etwa 1 µm erreichen, die auch von konventionellen „Nanofokussystemen“ praktisch kaum übertroffen wird.
Im außerdem verfügbaren High-Power-Modus sind schnelle, hochaufgelöste Messungen von Objekten mit wenige zehn Mikrometer großen Strukturen mit kurzen Messzeiten möglich.
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