OEG zeigt mit CAT ein optisches Absolut-Dickenmessgerät für ebene Prüflinge auf der Basis hochauflösender Abstandsensoren. Aufgrund der speziellen Konstruktion der Sensorköpfe ist CAT sowohl für die Dickenmessung an polierten als auch an rauhen Oberflächen geeignet.
Mit seiner Genauigkeit von ± 0,5 mm erfüllt es höchste Ansprüche. Das Messgerät wird absolut gegen Endmaße kalibriert. Ein einachsig manuell verschiebbarer Messtisch ermöglicht sehr leicht die Messung von Dickenschwankungen des Ptüflings.
In der Standardausführung beträgt der Verfahrweg des Tisches 200 mm. Eine erweiterte Ausführung ermöglicht vollautomatische Dickenmappings.
Die Auswertung und Anzeige der Messergebnisse erfolgt über einen PC. Durch die intelligente Software können auch transparente Proben gemessen werden.
Einsatzgebiete für das Messgerät sind z.B. die Dickenmessung an Siliziumwafern, Kunststoffsubstraten, Papieren, Gläsern oder Metallen.
Halle 3 / 3303 A QE 501
Teilen:
