Merkmale: Zerstörungsfreie Schichtcharakterisierung für Qualitätskontrolle oder Prozeßsteuerung in 10 Sekunden. Bestimmbare Parameter sind Schichtdicke, Wasserstoff- und Stickstoffgehalt sowie der Kohlenstoffbindungstyp. Die Raman-spektroskopischen Messungen erfordern keine Probenvorbereitung, erfolgen in Luft, sind weitgehend substratunabhängig und ermöglichen standardmäßig Probengrößen von 1 µm bis 150 mm. Das System ist vollständig modular und besteht aus Kontrolleinheit, Laser, PC und bis zu vier multiplexbaren Class 1 Meßstationen. Meßstationen können über max. 50 m lange Glasfaserkabel mit der Zentraleinheit verbunden werden, wo die Daten mit prozeß-kontrollfähiger Software verarbeitet werden. Der Analysator ist ideal geeignet für u. a. Produktionslinien in Reinräumen.
A QE 504
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