Der MicroGlider 600 von FRT ist dafür konstruiert, große Proben hochgenau hinsichtlich verschiedenster Oberflächeneigenschaften zu untersuchen – berührungslos und zerstörungsfrei. Ein Highlight des Messgerätes ist der 600 x 600 mm2 große Positionierungstisch. Bis zu 1,5 x 1,5 m2 sind auf Anfrage erhältlich. Durch den berührungslosen Antrieb der Linearmotoren und eine ausgeklügelte Luftlagerung ermöglicht er höchste Messgenauigkeit und ein deutlich verringertes Höhenrauschen. Je nach Anzahl der Messpunkte bestimmt er Ebenheits- und Oberflächendaten wesentlich schneller und präziser als herkömmliche One-Shot-Verfahren.
FRT bietet die MicroGlider Plattform in einem Baukastensystem mit rund 25 verschiedenen Sensoren, unterschiedlichen Tischgrößen sowie leistungsfähiger Software an. Damit sind kundenspezifische und vielseitig einsetzbare Multisensor Lösungen für eine Vielzahl von Messaufgaben möglich.
Die Einsatzgebiete und die Anzahl sind weit gefächert. In der Halbleiter- und MEMS-Fertigung wird das System zur Untersuchung der Ebenheit von großen Glaswafern eingesetzt. Das maximale Probengewicht von 50 kg ermöglicht neben der Untersuchung leichter Wafer zudem die Vermessung von schweren metallgefertigten Waferhaltern, den so genannten Wafer Chucks.
FRT Fries GmbH ,
Bergisch Gladbach
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