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Einfache und berührungslose Dickenmessung jetzt auch von SiC-Wafern

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Einfache und berührungslose Dickenmessung jetzt auch von SiC-Wafern

Deutliche Rationalisierungsmöglichkeiten bei der Fertigung dünnschichtiger Materialien wie SiC-Wafer und scheibenartiger Messproben bietet jetzt das neue Messsystem Nemesis XV von Precitec Optronik in Rodgau. Das System zur Dicken- und Topografieerkennung von transparenten und auch nichttransparenten Stoffen ist in der Lage, berührungslos und damit beschädigungsfrei, zeitgleich die Dicke und Rauheitswerte des hochsensiblen Produktes exakt zu messen.

Ergebnis: Die gewünschte Produkt-Qualität wird zuverlässig gesichert.
Die Messgenauigkeit ist besser als 1µm. Sie liefert damit eine sichere Grundlage für den Offline-Einsatz im Rahmen der Stichprobenmessung.
Das neue System arbeitet mit den chromatischen Weißlicht- sensoren der neuen Produktfamilie CHRocodile von Precitec Optronik.
Nemesis XV beinhaltet eine automatische Datenauswertung. Die Messwerte stehen dem Anwender ebenfalls als Ascii-Daten zur Verfügung. Auch die Excel- Dokumentation und Verarbeitung über PC ist somit problemlos möglich.
Zusammengefasst bietet das ab Herbst 2005 lieferbare Messsystem Nemesis XV erhebliche Vorteile für die Fertigung:
  • Zuverlässige Produktkontrolle von Materialdicke und Topografie
  • Optimierung des Produktionsprozesses
  • Sicherung der Produktqualität
  • Vermeidung von Nacharbeit
Precitec Optronik, Rodgau
QE 528
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