Das neue Ebenheits-Meßsystem Mesa von Zygo kombiniert die schnelle, flächenhafte, berührungslose, interferometrische Meßtechnik mit einem großen Arbeitsabstand. Die Meßebene befindet sich mehr als 50 mm vor dem Ausgangsfenster, so daß zurückgesetzte Flächen problemlos vermessen werden können. Mesa stellt eine neue Klasse von Interferometern dar, die durch ein patentiertes Prinzip auch „grobe“ Oberflächen vermessen können. Das desensibilisierte Interferometer analysiert mechanisch bearbeitete Oberflächen, deren Mittenrauhwert Ra £ 2,5 µm beträgt. Somit ist es jetzt möglich, gefräste, gedrehte, geschliffene, geläppte oder gehonte Werkstücke berührungslos auf Ebenheit zu prüfen. Die maximale feststellbare Ebenheitsabweichung beträgt 150 µm. Der Meß- und Auswertezyklus benötigt nur zwei bis drei Sekunden. Die Topographie des vermessenen Werkstückes lässt sich dreidimensional darstellen.
A QE 507
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