Hochauflösende Oberflächenprofilometer sind ein wichtiges Instrument zur Charakterisierung von Oberflächen, vor oder nach einer technischen Bearbeitung. Mit ihrer Hilfe lassen sich die Oberflächendetails erkennen, die zur Prozeßoptimierung dienen.
Optische Profilometer und AFMs haben den Nachteil, daß sie nur geringe Scanweiten zulassen. Nicht so die hochauflösenden Profilometer P-10 und P-11 dieses Herstellers. Sie ermöglichen Scanlängen von 60 bzw. 205 mm Länge bei höchster Auflösung. Obwohl es sich hierbei um ein berührendes Meßverfahren handelt, kann man die Beschädigung der Oberfläche aufgrund der Kraft-Monito-ring-Technologie ausschließen. Auflagekräfte so klein wie 0,05 mg (510-7 N) sind rea-lisierbar.
A QE 421
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