Für die hochpräzise berührungslose Längen- und Winkelmessung bietet SIOS Doppel-Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektoren der Serie SP-D mit einer Längenauflösung von 0,1 nm und einer Winkelauflösung bis 0,01“ an. Durch zwei parallele Messstrahlen können simultan zwei Längenwerte und der dazugehörige Winkelwert sehr präzise erfasst werden. Als Messreflektoren dienen Planspiegel oder beliebige Oberflächen mit optischer Qualität. Der zulässige Winkelbereich beträgt dabei etwa zwei Minuten und ist vom Abstand der Strahlen unabhängig. Bei kleinen Längenänderungen erhöht eine Fokussierung der Messstrahlen auf das Messobjekt den Winkelbereich bis auf ± 30 Minuten. Die Zuführung des Laserlichtes zum Sensorkopf erfolgt über einen Lichtwellenleiter. Der He-Ne-Laser, der bei größeren Messlängen frequenzstabilisiert wird, sowie die Korrektur der Umwelteinflüsse auf die Laserwellenlänge sind die Grundlage hoher Messgenauigkeit.
SIOS Meßtechnik, Ilmenau
QE 518
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