Ein Anwendungsbeispiel für eine Paternoster-Ofenanlage ist das Aushärten von Klebstoff bei der Wafer-Herstellung. Dabei werden Silizium- Stäbe durch eine Klebverbindung auf Paletten verankert. Die Paletten werden auf eine freistehende Vorrichtung gelegt und von dort mittels einer Hubeinrichtung automatisch in den Ofen befördert. Im Ofen wird die Palette von einem Aufnehmer gehalten und taktweise, dem Paternoster-Prinzip entsprechend, im Kreis geführt. Insgesamt können sieben Paletten gleichzeitig aufgenommen werden. Das Gewicht einer Palette darf bis zu 346 kg betragen. Eine Palette bietet Platz für sechs Silizium-Stäbe. Bei Temperaturen bis zu 100 °C härtet der Klebstoff zwei Stunden aus. Danach wird die Palette mit der Hubeinrichtung aus dem Ofen gehoben und wieder auf die außenstehende Vorrichtung gelegt. Der Transport der Paletten im Ofen, das Beschicken und die Entnahme geschehen automatisch. Ein übersichtliches Bedienfeld erleichtert es, die einzelnen Abläufe zu steuern und zu kontrollieren. Die Verweilzeit der Paletten im Ofen ist jederzeit ablesbar, wodurch Einfluß auf den Arbeitsablauf ausgübt werden kann.
Diese Öfen werden seit zehn Jahren in die Produktion von Wafern integriert. Sie werden im Drei-Schicht-Betrieb gefahren und brauchen nur einmal pro Jahr gewartet zu werden.
A QE 709
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