ROMULUS III-A von m-Sen Mikrosystemtechnik ist ein automatisiertes Labormesssystem für mechanische Messungen an festen und flexiblen Substraten, Dünn- und Dickschichten, integrierten oder gedruckten Schaltungen und diskreten Bauelementen. Es ist besonders geeignet für den Einsatz in der Grundlagenforschung sowie der industriellen Entwicklung und Produktion. Die Grundidee besteht in der Modularisierung des Messproblems. Das Messsystem besitzt deshalb drei konstruktive Ebenen mit genormten Schnittstellen: – elektronische Prozesssteuereinheit (modifizierter PC), – elektromechanische, sensorbestückte Messplattformen (Kraftgenerator), – mechanische Module (Probenhalter, Kraftwandler). Auf Grund dieser Voraussetzungen kann der Nutzer aus einer Vielzahl von Plattformen und Modulen ein seiner Messaufgabe optimal angepasstes und preiswertes Systemdesign zusammenstellen.
A QE 413
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