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Messen optischer Komponenten

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Messen optischer Komponenten

Im MarSurf LD 120 Aspheric verbindet Mahr sein Know-how der Oberflächenmessung mit dem der Formmessung: Die Linsen von 5 bis 100 mm Durchmesser drehen sich auf dem Messtisch; dabei erfasst das im Nanometerbereich auflösende Oberflächenmessgerät MarSurf LD 120 die Koordinatenpunkte der asphärischen Linse stern- oder spiralförmig mit einer Messkraft von nur 0,7 mN. Da sich der Messplatz in einer schwingungsgedämpften Kabine befindet, ist der Messvorgang weitgehend frei von äußeren Störeinflüssen, wie Vibrationen und Verunreinigungen.

Das Auswerteprogramm dient der Analyse der asphärischen Oberflächenmessungen. Asphärische Flächen sind nicht kugelförmig und bieten bessere Möglichkeiten, Abbildungsfehler zu korrigieren; denn die Fläche kann weitgehend frei geformt werden. Die Software des Messplatzes speichert die gemessenen Profile. Die Sollform der Asphäre wird definiert und der Restfehler der Asphären gegenüber der Sollform bestimmt. Die Daten werden den Bearbeitungsmaschinen automatisch zum Nachregeln zur Verfügung gestellt („closed loop“).
Mahr, Göttingen
QE 519
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