Klassische lichtmikroskopische Beobachtungssysteme erschließen bei der Vermessung von Höhenprofilen eine Genauigkeit von einigen hundert nm. Das LEXT von Olympus hingegen löst Höhenunterschiede der Probe im Bereich einzelner nm auf. Diese Qualität der Abbildung wird durch den Einsatz eines Laser-Scanning Systems möglich.
Das Licht einer blauen Laserdiode wird über ein Scannermodul und die Mikroskopoptik auf das Präparat fokussiert und scannt diese in der X-Y Ebene stetig ab. Unter Verschieben der Fokuslage wird die Probe dreidimensional gescannt und das von der Probe reflektierte Licht konfokal detektiert. Das verblüffende Ergebnis dieses Verfahrens zeigt eine hochgenaue 3-dimensionale Abbildung des Präparates. Deren digitale Daten stehen am Anfang einer Kette von Analyseschritten. Im Rahmen der Datenanalyse können Parameter wie: Oberflächenrauheit, Strukturhöhen und Oberflächenschichtungen nanometer-genau vermessen werden. Seine Klasse als echtes Messmikroskop für industrielle Anwendungen leitet sich für das LEXT aus den Erfahrungen ab, die Olympus mit der STM6 Familie gewonnen hat.
QE 516
Teilen:
