OMIPROBE wurde für die In-line – Charakterisierung von Epitaxiewafern für hochwertige, insbesondere sehr schnelle elektronische und optoelektronische Baugruppen entwickelt. Das Gerät basiert auf der Photoreflexionsspektroskopie.
Vorteile:
- Schnelle zerstörungs- und berührungsfreie Charakterisierung von Epitaxiewafern
- Misst auf dem Wafer Bandgap, Band-Offset, Surface/Interface-E-Feld
- Durch statistische Prozesskontrolle wird die Prozess-Stabilität erhöht
- Kostenreduktion durch Wegfall spezieller Testwafer und Testbaugruppen
- Verbesserung der Ausbeute
- Vermeidung von zerstörenden Tests an VCSEL- und RCLED-Wafern
Anwendungen:
- Sehr genaue Messung der Bandlücke bei Raumtemperatur
- Elektrisches-Feld-Messungen an kritischen Übergangsstellen auf Epiwafern
- Eingeführte Technik für die Qualifizierung von HBT-Wafern/ statistische Prozesskontrolle u.v.m.
QE 517
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