Das NanoTest-System von Micro Materials ist als flexibles und leistungsfähiges Gerät zur Untersuchung mechanischer Eigenschaften von Oberflächen und dünnen Filmen bekannt. Härte und E-Modul werden mit der NanoIndentation-Methode bestimmt, für visko-elastische Proben erlaubt die Oszillations-Methode die Bestimmung des komplexen Moduls. Neben der reinen Quantifizierung ist die Begutachtung der Oberfläche mit optischer Mikroskopie oder AFM von großer Bedeutung. Neben einem einfachem Mikroskop steht ein hochauflösendes Mikroskop mit 1000-facher Vergrößerung für präzise Positionsbestimmung oder nachträgliche Inspektion des Messpunkts zur Verfügung. Als Ergänzung zum optische Mikroskop kann ein Objektiv durch ein AFM ersetzt werden, womit die laterale Auflösung deutlich gesteigert wird. Zwei AFM-Köpfe stehen wahlweise zur Verfügung: Scanbereich 40 µm oder 200 µm. Zum Imaging verfährt die Probe zwischen Indenter-Messkopf und Mikroskop-Einheit, mit einer Reproduzierbarkeit der Position von < 1 µm.
Mit dem neuen hochauflösenden Piezoprofiler entfällt jetzt das Verfahren zwischen den unterschiedlichen Messköpfen. Unterhalb der Probe sitzt hierbei ein höchauflösender Piezoscanner, mit dem die Probe an Ort und Stelle gescannt werden kann. Die Indenter-Spitze mit dem kapazitiven Wegsensor selbst ist dabei das Messsystem. Damit kann direkt nach dem Indenter-Experiment an der selben Probenposition ein Oberflächenprofilscan, mit AFM-Auflösung, aufgenommen werden, ohne dass die Probe selbst zwischen Indenter- und Mikroskop- oder AFM-Messkopf verfahren werden muss.
Da es sich um ein integriertes System handelt, müssen keine Abstriche bei der NanoIndentation-Messung aufgrund von verschlechterter Compliance befürchtet werden.
QE 537
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