Um die Brücke vom Meter zum Nanometer zu schlagen, kann das Oberflächenmessgerät MicroGlider der FRT GmbH parallel zum chromatischen Topographiesensor mit einem Weißlicht-interferometer, einem Rasterkraftmikroskop (AFM) oder mit der Atomic Force Acoustic Microscopy (AFAM) bestückt werden. Die modulare Multisensor-Technologie von FRT vereint damit verschiedene Messverfahren in einem Gerät und bietet so ein Höchstmaß an Flexibilität.
Das neue Weißlichlichtinterferometer FRT WLI 20 X ermöglicht hochaufgelöste, flächenhafte Topographiemessungen in sub-Nanometer Höhenauflösung mit dreidimensionaler Darstellung. Der Sensor eignet sich hervorragend für die sekundenschnelle topographische Untersuchung von spiegelnden, rauen oder liquiden Oberflächen. Ebenso wie der WLI Sensor kann das AFM parallel zum normalen optischen Topographiesensor eingesetzt werden. Bei Bedarf wird in der vorliegenden optischen Übersichtsmessung mit der Steuersoftware einfach eine Stelle ausgewählt, die den Messbereich des AFM bestimmt. Dieses ist in der Lage, Oberflächenstrukturen bis in den Nanometerbereich zu untersuchen. Umgekehrt kann jede hochaufgelöste AFM-Messung automatisch in den Messbereich des optischen Topographiesensors gebracht werden, um größere Profile oder Flächen zu untersuchen.
FRT GmbH, Bergisch Gladbach
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