Mit dem neuen optischen Meßverfahren im MicroGlider® läßt sich die Topographie von Oberflächen sehr schnell erfassen. Der optische Sensor arbeitet berührungslos und zerstörungsfrei. Zur Messung der Oberfläche wird der Stimmgabelsensor vom MicroGlider® abgenommen und der optische Meßkopf aufgesteckt. Die Kombination beider Meßköpfe in einem Meßaufbau ermöglicht eine schnelle Untersuchung der Oberfläche mit dem optischen Sensor und eine hochaufgelöste Messung mit dem Stimmgabelsensor an der gleichen Probestelle. Da keine mechanischen Bauteile in vertikaler Richtung bewegt werden, sind Messungen extrem schnell durchzuführen. Der Sensor erlaubt einen Arbeitsabstand von 5 mm und einen Meßbereich von 300 µm in der Höhe. Das Verfahren erreicht eine vertikale Auflösung von 10 nm.
A QE 423
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