Die neuen Pegasus- bzw. Delphi-Spektrometer, zu sehen bei der Röntgenanalytik Messtechnik GmbH, integrieren die Hard- und Software des TSL-EBSD-(Electron Backscattered Diffraction)-Spektrometers für die OIM-Spektroskopie (Orientation Imaging Microscopy) in das bekannte Phoenix-Mikroanalysesystem von EDAX bei gleichzeitigem Zugang zu der JCPDS-X-Ray-Datenbank. Das System arbeitet in zwei verschiedenen Modi:
Modus 1: Sind die vorhandenen Phasen eines zu untersuchenden Materials bereits bekannt, so wird die chemische Information in Form der Elemente der Probe in die JCPDS-Datenbank eingegeben. Das System vergleicht dann diese Zusammensetzung mit allen möglichen Phasen, welche mit diesen Elementen bekannt sind. Ein Vergleich der ermittelten Phasen mit den aufgenommenen Kikutchi-Pattern analysiert mit Hilfe einer patentierten “Best Fit”-Routine die entsprechende Phase in jedem einzelnen Punkt des untersuchten Bereichs.
Modus 2: Ist die Identität der in der Probe vorhandenen Kristallphasen völlig unbekannt, so arbeitet das System in Verbindung mit der energiedispersiven Analyseeinheit von EDAX.
Hierzu werden gleichzeitig ein EDS-Spektrum, als auch das EBSD-Pattern der entsprechenden Probenstelle aufgenommen. Mittels einer automatischen Peakidentifizierungsroutine werden die vorhandenen Elemente ermittelt und anschließend für jede gewählte Probenstelle automatisch an die JCPDS-Datenbank übermittelt. Mit Hilfe dieser Datenbank werden sämtliche Kristallphasen ermittelt, die der gefundenen chemischen Zusammensetzung entsprechen.
Hierauf basierend wird anschließend automatisch ein kristallographischer Datensatz erstellt und von der EBSD-Software ausgewertet. Die Analyse der einzelnen Pattern erfolgt nun auf der Basis eines Vergleichs mit der erstellten Phasenliste.
– QE 508
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